等離子體是由魯克斯在1879年發(fā)現的，1928年美國科學家歐文·朗繆爾和湯可斯（Ponks）首次“plasma”一詞引入物理學，用來描述氣體放電管里的物質形態(tài)。是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產生的正負電子組成的離子化氣體狀物質，它是除去固、液、氣外，物質存在的第四狀態(tài)。等離子體是一種很好的導電體，利用經過巧妙設計的磁場可以捕捉、移動和加速等離子體。等活性粒子可與各種污染物如CO、HC、NOX、SOX、H2S等發(fā)生作用，轉化為CO2、H2O、N2、S、SO2等無害或低害物質，從而使廢氣得到凈化。它可促使一些在通常條件下不易進行的化學反應得以進行，但該法使用安全性有需提高。
【技術原理】
低溫等離子體中能量的傳遞大致為：電子從電場中得到能量，通過碰撞將能量轉化為分子的內能和動能，獲得能量的分子被激發(fā)，與此同時，部分分子被電離，這些活化了的粒子相互碰撞從而引起一系列復雜的物理化學反應。因等離子體內富含的大量活性粒子如離子、電子、激發(fā)態(tài)的原子和分子及自由基等，從而為等離子體技術通過化學反應處理異味物質提供了條件。他是基于放電物理、放電化學、反應工程學的學科之上的交叉學科。進幾十年來，有關等離子體技術的研究非常活躍，為合成新物質、新材料及環(huán)境污染治理等提供了一種新技術、新方法和新工藝。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應以達到降解污染物的目的。
【工作流程】
有機廢氣（含顆粒物氣體經預處理后）在風機的作用下進入等離子廢氣凈化器內，凈化器采用高壓發(fā)生器形成低溫等離子體，在平均能量約5eV的大量電子作用下，使通過凈化器的苯、甲苯、等有機污染物轉化成各種活性粒子，與空氣中的O2結合生成H2O、CO2等低分子無害物質。
【適用范圍】
煉油廠、橡膠廠、皮革廠、印刷廠、化工廠、制藥廠、金屬鑄造廠、塑料再生廠、噴涂溶劑等有機和無機物惡臭氣體的脫臭凈化處理；噴漆（涂）車間、化工、醫(yī)藥、橡膠、食品、印染、造紙、釀造等生產過程中產生的有毒有害廢氣。
